羅茨真空泵極限真空和抽氣速率的測試
2012-05-17
1.極限真空的測試:測試極限真空，是泵在不連接容器的情況下，按規(guī)定的條件運轉，待泵的溫升達到穩(wěn)定時，從泵的進口附近以真空計測出其穩(wěn)定的低壓強。
測量極限真空采用的真空計，對于羅茨真空泵，按規(guī)定采用座式壓縮式真空計，且應準確讀出一位有效數字來表示。這種真空計必須經具有±10%以上精度的壓縮式真空計校準。對于作為粗真空使用的直排大氣的羅茨真空泵，可采用管徑相等的開口或閉口U型水銀真空計，也可采用精度為±1mm單管水銀壓力表，不管使用哪種真空計，都應盡量靠近泵的吸氣口測量，連接用的真空橡膠管應盡可能短，以盡量減少誤差。
2.抽氣速率的測試:羅茨真空泵的抽氣速率測試，因其用途不同而采用不同的測試方法和儀器。按照部標規(guī)定，氣體流量小于5OTorr·L/s時，應采用低飽和蒸氣壓液體滴定管流址計，氣體流量大于50Torr·L/s時，應采用浮子流量計。
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